一体化温控压控测试系统，MEMS温压标定校准设备

设备技术参数：

1.测量下限≤10pa；

2.测量上限≥150KPA；

3.可靠性优于10万分之一；

4.温度覆盖范围变温-45-155°； 

5.自带负压及正压设备；

6.腔体体积 长300mm*宽300mm*高100mm,含航插连接外部仪器，航插接口不少于36pin；

7.集成变温变压功能，可同时变温变压测试，温度稳定性优于0.2°；